در حالی‌که تعاریف زیادی برای فن‌آوری نانو وجود دارد، در کل می‌توان این فن‌آوری را به‌صورت‌های زیر توصیف کرد.
آ) توسعه‌ی فن‌آوری و تحقیقات در سطوح اتمی، مولکولی و یا ماکرو مولکولی در مقیاس اندازه‌ی یک تا صد نانومتر
ّب) خلق و استفاده از ساختارها و ابزار و سیستم‌هایی که به خاطر اندازه‌ی کوچک یا حد میانه‌ی آن‌ها، خواص و عملکرد نوینی دارند.
پ) توانایی کنترل یا دست‌کاری در سطوح اتمی
